产品特性

· 两元气体混和装置，利用多台高精度(MFC)气体质量流量控制器精密控制气体混合比例，可以混出不同要求的气体比

·气体混和精度不受起源压力变化的影响

·全耐腐蚀设计，适应气体混合（常温无凝结）

·调节精度优于+-1%，混和精度优于1%或2%（流量大小确定）

技术参数

气体传输：1- 8种气体气体质量流量控制器控制流量 ， Swagelok卡套连接

气体类型： 空气、N2， O2 ，CO2,SO2等

进气压力：2 --8bar

出口气体：1--8种气体质量流量控制器控制

控制阀动作型式：气体质量流量控制器是常闭式

响应时间(sec)：1S

工作压差：0.05～0.5MPA

最大耐压：3MPA

出口压力：0 --6bar

控制原理：气体质量流量控制器质量流量控制，每个出口单独控制，含温度及湿度休整补偿（由于密度和温度的关系很大，为 减少误差补偿）

气体质量流量控制器流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM；0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，200SLM

采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制（气体质量流量控制器）。

气体质量流量控制器可应用在5SCCM到200SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响其他流速可选择 ，其他气体可选择

准确性： 优于1%或2%（此参数是由混合气体的流量后所确定）

数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（ 1个大气压，0度）

气体质量流量控制器标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa控制显示方式：本地显示控制

气体混气仪器应满足以下工作环境要求:

气体质量流量控制器工作电源: AC 185~265V,50Hz.

气体质量流量控制器工作温度:0～45℃

气体质量流量控制器相对湿度:≤90%

进出口连接：可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）与气源进行快速连接，并与采样灌进行快速连接