气体混合设备，气体混合仪，气体配比器，

混气特点：高精度控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求，气路通道：1～8路（根据客户需求设计）。

产品特点

·最大工作压力达3MPa

·气体质量流量控制器准确控制，操作简单

·BA级洁净管道连接

·使用气体种类多（可达30多种）

·最高工作温度5～50℃。

·国际主流通用管道连接方式。密封更可靠,寿命更长

·阀门与介质接触部分的零件材料为不锈钢、聚四氟乙烯。

·高精度控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求

·安装方便。

产品特性

·两元气体混和装置，利用多台高精度(MFC)气体质量流量控制器精密控制气体混合比例，可以混出不同要求的气体比

·气体混和精度不受起源压力变化的影响

·全耐腐蚀设计，适应气体混合（常温无凝结）

·调节精度优于+-1%，混和精度优于1%或2%（流量大小确定）

性能参数

气体传输：1- 8种气体气体质量流量控制器控制流量 ， Swagelok卡套连接

气体类型： 空气、N2， O2 ，CO2,SO2等

进气压力：2 --8bar

出口气体：1--8种气体质量流量控制器控制

控制阀动作型式：气体质量流量控制器是常闭式

响应时间(sec)：1S

工作压差：0.05～0.5MPA

最大耐压：3MPA

出口压力：0 --6bar

控制原理：气体质量流量控制器控制，单独控制每个出口，含温度及湿度休整补偿（由于密度和温度的关系很大，为 减少误差补偿）

气体质量流量控制器流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM;0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，200SLM

采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。

气体质量流量控制器可应用在5SCCM到200SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响其他流速可选择 ，其他气体可选择

准确性： 优于1%或2%（此参数是由混合气体的流量后所确定）

数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（ 1个大气压，0度）

气体质量流量控制器标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa控制显示方式：本地显示控制

气体混气仪器应满足以下工作环境要求

工作电源: AC 185~265V,50Hz.

工作温度:0～45℃

相对湿度:≤90%

进出口连接：

可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）与气源进行快速连接，并与采样灌进行快速连接

微小流量气体混合仪，气体混合仪，气体配比

特点：微小流量气体混合，高精度控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求，气路通道：1～8路（根据客户需求设计）。

准备过程

1. 按图纸联接管路系统。

2. 按顺序联接质量流量控制器同显示仪的数据线，联接显示仪电源。

3. 打开显示仪电源（给质量流量控制器通电5-10分钟）。

4. 打开气源，入口压力（0.1-0.4MPA）之间。

5. 打开管道上的开关阀(路：MV1-1,MV1-3 第二路：MV2-1,MV2-3)。

6. 关闭(路：MV1-2第二路：MV2-2).

7. 在流量显示仪1，2，3通道调节流量大小，通道3流量设定为最大（些通道可以调节出口的流量大小，如果不是最大流量，通道1，2气体流不出）。混合不同的气体分别调节1,2通道流量大小。

通道1流量为：1000SCCM，通道2流量为：100SCCM，通道3流量为1500SCCM.

注：路：MV1-2第二路：MV2-2，主要功能为清洁管路和不使用混气功能时可对下游气体不控制流量。

特点性能

·质量流量控制器最大工作压力20MPa。（详见产品说明书）

·最高工作温度5-50℃。

·国际主流通用管连接方式。

·316不锈钢材质。

·阀门与介质接触部分的零件材料为不锈钢、聚四氟乙烯。

·安装方便。

气体混合仪系统参数

气体传输：8种气体 ， Swagelok卡套连接

气体类型：NH3，CH4等

进气压力：0.1-0.4MPA

控制阀动作型式：常闭式

响应时间(sec)：1S

工作压差：0.05～0.5MPA

最大耐压：3MPA

控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制